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國產氣體流量控制器技術發展

時間:2025-12-12      點擊次數:54

        陜西易度智能科技有限公司成立于2015年,總部位于西安經濟技術開發區。公司專注于氣體質量流量計與質量流量控制器的研發、制造,是國內極少數掌握層流壓差式核心技術的企業之一。

        公司的核心研發團隊以西北工業大學的博士后、博士為骨干,憑借在微流量測控領域的深厚積累,致力于解決精密制造中的“卡脖子"技術問題。

         技術路線與產品優勢


        易度智能堅持走層流壓差式這一差異化技術路線,其產品相較于傳統的熱式原理產品,具有顯著優勢,實現了從“技術可用"到“技術好用"的跨越。

高精度與高穩定性:基于層流物理原理,產品具有優異的測量重復性和長期穩定性。部分高精度型號的測量誤差可控制在±0.5%讀數以內。

開機即用,響應迅速:無需像熱式儀表那樣長時間預熱,可實現“開機即測"。同時響應速度極快,可達毫秒級,能滿足半導體工藝中快速切換的需求。

強大的介質兼容性:產品流道可采用耐腐蝕材料,內置超過70種氣體數據庫,能兼容從普通惰性氣體到特種腐蝕性氣體的廣泛介質。

智能與便捷:部分系列產品配備了觸摸屏,用戶可直接在設備上設定參數、切換氣體、查看多種實時數據,極大簡化了操作。

        主要應用領域


        憑借上述技術優勢,易度智能的產品在多個對氣體控制要求嚴苛的領域發揮關鍵作用:

半導體制造:這是其核心應用戰場。產品用于光刻、刻蝕、薄膜沉積等關鍵工藝,精準控制特種工藝氣體的流量,直接影響芯片的良品率。公司為此建立了百級潔凈生產線。

新材料與新能源:在化學氣相沉積、原子層沉積等鍍膜涂層工藝中,確保反應氣體的精確配比。此外,也廣泛應用于燃料電池的研發與測試領域。

科研與儀器:在高校實驗室、科研院所中,其高精度和易用性深受青睞,用于各類需要精密氣路控制的實驗裝置。

環境監測與工業安全:便攜式手持質量流量計可用于大氣采樣器的現場校準;固定式產品也可用于氣體分析儀、報警儀等設備的流量監控。

         國產化價值與行業貢獻


        易度智能的成長是我國在該領域實現國產化替代的縮影。其產品已在國內多家頭部半導體設備商的機臺中實現批量應用,助力國產核心裝備突破瓶頸。

        公司還積極參與行業標準建設,參與了國家《層流流量計檢定規程》的制定工作,推動行業規范化發展。

        陜西易度智能科技有限公司是一家以底層技術創新為驅動力的高科技制造企業。它通過深耕層流壓差式技術,成功打破了國外壟斷,為半導體、新能源、科研等關鍵領域提供了高精度、高可靠性的氣體流量測控解決方案,成為中國精密制造產業鏈中重要的一環。
        

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